江苏富乐华半导体科技取得一种金刚石激光热沉基板制备方法专利可明显提高激光器的散热效果
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发布时间:2024-09-09 03:25:20金融界 2024 年 9 月 8 日消息,天眼查知识产权信息数据显示,江苏富乐华半导体科技股份有限公司取得一项名为“一种金刚石激光热沉基板制备方法“,授权公告号 CN118291936B,申请日期为 2024 年 4 月 。
专利摘要显示,本发明涉及热沉基板技术领域,具体为一种金刚石激光热沉基板制备方法。本发明利用金刚石材料的高导热率将其应用于高功率半导体激光器,可明显提高激光器的散热效果,大幅度的提升了激光器的应用场景范围。本发明还通过对金刚石瓷片进行磁控溅射处理,溅射种子 Ti 层和种子 Cu 层,然后再电镀金属层,使其能更好地应用于半导体激光器领域。本发明在镀金后的基板上还镀了改性纳米氮化硼层,纳米氮化硼的导热性能优异,在纳米氮化硼上复合了二氧化硅,二氧化硅的复合能大大的提升基板的耐腐的能力和耐磨性;同时还加入了缓蚀剂 1‑氨基苯并做进一步改性,进一步提升了基板的耐腐的能力。